麒麟9000S由ASML光刻机制造?事实如何?

麒麟

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LIXCC

2026-02-21 22:05

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中国
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这问题下乱象丛生,我就讲几个事实吧。

ASML目前最大的单一客户依旧是中国大陆,中国大陆企业还在大量购买ASML的设备和系统。多方报告(如国内的相关报告、国外techinsight等)显示,麒麟9000S是由ASML的光刻机制造而成的。

国内所做的die shot存在边缘对准条纹,麒麟9000s的边缘对准条纹为asml所独有,对应图中的VSPM AH74,据此基本能判定麒麟9000S由ASML的DUV光刻机制造。Techinsight完整报告需付费查看,虽还未看图,但他们得出的结论与上述一致。3. ASML的光刻机对中国出口还未完全被限制。2020 - 2023年期间,美国商务部严格限制EUV光刻机出口,末代浸润式DUV光刻机则没有被大力限制,直到去年才开始受限,详情可看下图。

麒麟
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不过新限制并非完全禁售,截至目前仅限制了2100i和2050i的出口。ASML理论上能制造达到台积电N7(7nm)水平的浸润式DUV光刻机共有四款,分别是NXT1980i、2000i、2050i和2100i。它们之间的差异大致可理解为生产效率和良率的不同,而前两款至今仍未对中国大陆完全禁售,其维护以及耗材供应也未曾中断对中国大陆的供应。国产光刻机发展到何种程度很难确切说明。但要是真像有些人讲的那样,国内应该不会大量购买ASML设备,麒麟芯片也不会由ASML的机器制造了。

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